立川(無錫)半導体設備有限公司
立川(無錫)半導体設備有限公司は、立川(珠海)智能科技設備有限公司(グループ本社)の子会社であり、半導体検査設備分野の中核的な研究開発・製造拠点です。珠海、無錫、明光、杭州に子会社を持ち、研究開発から生産・販売・サービスまでを一貫する広域事業体制を構築しています。
主力製品はプローブステーション装置(TGG‑P200、P300、T200、T300シリーズ)で、ウェーハ洗浄装置や研削・薄厚化装置も提供し、ICウェーハ製造のCPテスト工程に対応します。
日中共同開発による光学画像処理と精密位置決め制御の独自技術を製品化し、国内サプライチェーンを活用した安定調達体制も確立しています。2023年に江蘇省ハイテク企業に認定され、2026年6月現在、グループ全体で65件の知的財産(特許15件、ソフトウェア著作権25件を含む)を保有します。
今後もウェーハレベルのCPテスト技術に注力し、お客様の検査工程課題に対しカスタマイズされたソリューションを提供してまいります。

60+
特許60件以上
8インチ
8インチ自動プローバの最先端技術.
12インチ
12インチ自動プローバの最先端技術.
2016年
日本TOT精密株式会社を設立
2017
正式に立川技研株式会社に社名変更
2020
立川日本関西支社を設立
2021
立川(珠海)智能科技設備有限公司を設立
立川(無錫)半導体設備有限公司を設立
2025
明光立川精密設備有限公司を設立
2026
立川(杭州)半導体設備有限公司を設立