立川(無錫)半導体設備有限公司

立川(無錫)半導体設備有限公司は、立川(珠海)智能科技設備有限公司(グループ本社)の子会社であり、半導体検査設備分野の中核的な研究開発・製造拠点です。珠海、無錫、明光、杭州に子会社を持ち、研究開発から生産・販売・サービスまでを一貫する広域事業体制を構築しています。

主力製品はプローブステーション装置(TGG‑P200、P300、T200、T300シリーズ)で、ウェーハ洗浄装置や研削・薄厚化装置も提供し、ICウェーハ製造のCPテスト工程に対応します。

日中共同開発による光学画像処理と精密位置決め制御の独自技術を製品化し、国内サプライチェーンを活用した安定調達体制も確立しています。2023年に江蘇省ハイテク企業に認定され、2026年6月現在、グループ全体で65件の知的財産(特許15件、ソフトウェア著作権25件を含む)を保有します。

今後もウェーハレベルのCPテスト技術に注力し、お客様の検査工程課題に対しカスタマイズされたソリューションを提供してまいります。

  • 60+

    特許60件以上

  • 8インチ

    8インチ自動プローバの最先端技術.

  • 12インチ

    12インチ自動プローバの最先端技術.

技術成果と資格認証のご紹介

PRODUCT

おすすめ製品

プローバの研究開発・生産に専念し、継続的なブレイクスルーと革新を追求しています。

TGG-T200

4/5/6/8インチウエハのテストに対応した改良型全自動プローブステーション.

TGG-T300

8/12インチウエハのテストに対応する改良型全自動プローバ.

TGG-P200

4/5/6/8インチウエハのテストに対応するベーシック型全自動プローバ.

TGG-P300

8/12インチウエハのテストに対応する改良型全自動プローバ

IWC Wafer Cleaning Equipment

RCA洗浄に代わり、3~12インチウエハに対応し、IWC生成装置と組み合わせることで、化学廃液ゼロエミッションのグリーン洗浄を実現します。

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