4/5/6/8インチウエハのテストに対応した改良型全自動プローブステーション.

8/12インチウエハのテストに対応する改良型全自動プローバ.

4/5/6/8インチウエハのテストに対応するベーシック型全自動プローバ.

8/12インチウエハのテストに対応する改良型全自動プローバ

RCA洗浄に代わり、3～12インチウエハに対応し、IWC生成装置と組み合わせることで、化学廃液ゼロエミッションのグリーン洗浄を実現します。

1、工程間の搬送を省き、生産効率が飛躍的に向上.
2、1台で複数台の設備を代替し、省スペースとコスト削減を実現.