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IWC Wafer Cleaning Equipment
RCA洗浄に代わり、3～12インチウエハに対応し、IWC生成装置と組み合わせることで、化学廃液ゼロエミッションのグリーン洗浄を実現します。
IWC洗浄装置仕様：枚葉式／槽式
加工対象サイズ：3/4/6/8/12インチ
洗浄液対応：IWC（装置内蔵生成設備）／各種薬液／純水など
IWC生成装置、標準生成量：15 L/hr（仕様変更可能）
装置構成
上下ノズル
純水、エアー、IWC
超音波
流水超音波 ：2個，1 MHz/400kHz
振動体超音波：1MHz
仕様パラメータ
| 仕様 | 枚葉式 | 槽式 |
| 型式 | LC-200/300-SW | LC-5C1D-B |
| 装置寸法 | 1400W x 1400D x 2050H | 5800W x 1000D x 2000H |
| ユーティリティ | 純水：入口0.2MPa以上、5L/min以上、出口C-PVC15A 排液：PVC-25A 排気：φ100吸引必要 電源: 三相AC200V60A ドライエア: 0.5MPa以上、8A | 純水：入口0.2MPa以上、5L/min以上、出口C-PVC15A 排液：PVC-25A 排気：φ200吸引必要 電源：三相AC200V 60A ドライIア：φ12 |
| 処理能力 | 4分/枚~ | 冷却水：15A |
内容選択
| 仕様 | 枚葉式 | 槽式 |
| ウエハサイズ | 3/4/6/8/12インチ(事前に1種または複数を選択) | |
| 洗净方式 | スポット超音波洗浄/ライン式超音波ブラシ洗净/二流体洗浄 | 超音波/浸漬 |
| 洗净液 | IWC/DIW etc. | IWC / DIW / IPA etc. |
| チャック方式 | エッジグリップチャック | 真空チャック |
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