設備プロセス概要

一、設備性能

· 設備機能：自動ローディング／アンローディング、自動位置決め、自動テスト、自動ドット打ち、OCR、APCC（ウエハテスト工程）

· ウエハサイズ：8インチ／12インチ

· 総合精度：XY ±1μm；Z ±2μm

· Index Time：180ms(X-6mm, Z-0.5mm)

二、設備機能

· 設備レイアウト：CASポート、上下フォーク／プリアライメント／OCR、チャック（XYZθアライメントステージ）

· ローディング／アンローディング：上部フォークはローディング用、下部フォークはアンローディング用

· 位置確認：独立した画像補正システムを使用

· 画像アライメント：プローブ位置 – 下部CCD構造を採用；ウエハ位置 – 上部CCD構造を採用；500万画素デジタルカメラ、高解像度の高倍／低倍光学レンズと光源を搭載