PRODUCT
TGG-P200
4/5/6/8インチウエハのテストに対応するベーシック型全自動プローバ.
設備プロセス概要介
一、設備性能
· 設備機能：自動ローディング／アンローディング、自動位置決め、自動テスト、自動ドット打ち、OCR（ウエハテスト工程）
· ウエハサイズ：4インチ／5インチ／6インチ／8インチ
· 総合精度：XY--±1μm；Z--±2μm
· Index Time：180ms(X-6mm, Z-0.5mm)
二、設備機能
· 設備レイアウト：CASリフトステージ、上下フォーク／プリアライメント／OCR、チャック（XYZθアライメントステージ）
· ローディング／アンローディング：上部フォークはローディング用、下部フォークはアンローディング用
· 位置確認：独立した画像補正システムを使用
· 画像アライメント：プローブ位置 – 下部CCD構造を採用；ウエハ位置 – 上部CCD構造を採用；500万画素デジタルカメラ、高解像度の高倍／低倍光学レンズと光源を搭載
仕様パラメータ
| パラメ一タ | 仕様 |
| 製品型番 | TGG - P200 |
| 自動化レベル | 全自動 |
| 動作環境 | 220V，50/60Hz |
| 装置寸法 | 1000（W）x 1100（D）x 1400（H） |
| X/Y/Z/θ ストロ一ク | 230mm、260mm、70mm、±5° |
| X/Y/Z/θ 分解能 | 0.1μm、0.1μm、0.1μm、0.0001° |
| ウエハサイズ | 4インチ/5インチ/6インチ/8インチ |
| 総合精度 | XY：±1μm Z：±2μm |
| Index Time | 180ms（X：6mm，Z：0.5mm） |
| 最大リフト力 | 60kg |
| テス卜温度 | 常温~150℃（標準）- 55℃~200℃（(オプション） |
| チャック平面度 | 常温≤8um 高温≤15um 低温<20um |
設備機能
| 設備レイアウト | CASリフトステージ、上下フォーク／プリアライメント／OCR、チャック（XYZθアライメントステージ） |
|---|---|
| ローディング／アンローディング | 上部フォークはローディング用、下部フォークはアンローディング用 |
| 位置確認 | 独立した画像補正システムを使用 |
| 画像アライメント | プローブ位置 – 下部CCD構造を採用；ウエハ位置 – 上部CCD構造を採用； 500万画素デジタルカメラ、高解像度の高倍／低倍光学レンズと光源を搭載 |
日语
